产品参数/ Product parameter
产品原理介绍：
气体回收纯化装置是对区熔单晶硅炉排除出的气体进行回收装置，通过压缩机稳压器进入气体纯化装置进行纯化处理，使气体纯度达到99.999%以上。
气体回收装置一般按照用户要求，以非标准型号提供，其处理后纯度在99.999%以上。气体回收装置是对氢气、氩气和氦气进行回收再利用，采用该系列装置是一项降低生产成本，节约能源，提高经济效益的有力措施。
产品设计特点：1、 采用常压氢气回收方式回收氢气，根据还原炉工作工况设计整个系统。
2、 回收压力可以根据产品加工的品种自动调整操作压力。
3、 冷却过滤装置安全可靠，效果明显。
4、 压力波动小，整个系统无论开关炉门压力都能保持平衡。
5、 采用变频技术，大大降低能耗，保证系统压力的稳定。
6、 大型回收装置干燥器内部采用二次分配结构，大大优化和提高产品气性能。
7、 独特的压力配合装置既满足减压需要，也提高整个系统的稳定性。
8、 设置冷冻机组，保证氢气露点达到-60℃以上。
9、 设置安全连锁装置，压力高低报警连锁装置，温度超高报警装置，变频系统和PLC控制系统。
产品技术指标：1.处理氢气量： 20～1000 Nm3/h
2、产品氢气品质： 99.999%
3、含氧量 ： ≤3ppm
4、露点 ： ≤-60℃
5、预处理工作温度 ：100-250℃
6、干燥器工作温度 ：常温
7、干燥器再生温度 ：200-300℃
产品应用：氢气回收装置主要用于钨钼待业还原工序排出的废氢，收集废氢后进入预处理系统，经增压后由冷却水冷却，汽水分离器分离水分，然后进入纯化装置主体部分，对氢气进行精制处理，经处理后的氢气中含氧量≤5ppm，H2O≤10ppm。氢气回收装置分为中压回收和常压回收，中压回收氢气的增压由压缩机进行，而常压回收则由罗茨风机来完成。
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