江苏宏博气体装备科技集团有限公司
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电子行业用制氮机
氮气在电子行业主要作为惰性保护气、吹扫气、载气、辅助工艺气,隔绝氧气、水汽,防止金属焊盘、芯片、元器件氧化,提升良率,降低锡渣损耗,广泛覆盖 SMT 组装、PCB、半导体封装、显示面板、LED、精密加工、元器件储存等工序。
一、SMT 表面贴装
1、回流焊:炉内充氮气保护,抑制焊膏氧化,提升焊锡润湿性,减少虚焊、立碑、桥接、焊球缺陷;BGA、QFN、0201 微小元件焊接必备。
消费电子:纯度99.9%‑99.99%;汽车电子、工控电子:99.99% 及以上,氧含量≤100ppm。
2、波峰焊 / 选择性波峰焊:隔绝空气,大幅减少锡渣产生(降低 60‑80%),节约焊料成本,焊点光亮饱满。
3、焊后吹扫:氮气吹扫板卡,带走助焊剂挥发物,降低板面腐蚀、短路风险。
工艺指标:露点≤‑40℃,配置多级精密过滤,控制油雾、颗粒杂质。
二、PCB 电路板行业
1、FPC 柔性板、硬板激光切割、钻孔:氮气做辅助气体,抑制铜箔切口氧化,减少毛刺、热灼伤,切口光洁,保障导电性能。
2、PCB 蚀刻、防氧化工序置换保护;成品板氮气吹扫干燥,去除水分残留,防止铜面氧化变色。
三、半导体与 IC 封装测试
1、晶圆工序:CVD 化学气相沉积、退火、光刻、刻蚀,氮气做载气、吹扫气、腔体保护气,隔绝氧与水汽,保障薄膜沉积均匀性,保护晶圆不氧化。
2、芯片封装:键合(金线 / 铜线键合)、塑封、固晶、焊线,惰性保护,防止焊盘、键合线氧化,提升焊接强度,降低失效概率;适配 SOP、BGA、CSP、SiP 各类封装形式。
3、晶圆、芯片储存:氮气柜、氮气储存仓,低氧环境存放晶圆、裸芯片,避免受潮氧化,延长存放周期。
工艺指标:常规封装99.999%(5N);高端制程需要搭配纯化装置做到 99.9995% 以上,露点‑60~‑70℃,严格控制颗粒、碳氢杂质。
四、显示面板 & LED 光电子
1、OLED/LCD:蒸镀腔体充氮保护,有机发光材料极易氧化,氮气隔绝氧气水汽,保障发光器件寿命与良率;光刻胶氮气吹扫干燥。
2、LED 芯片、Mini/Micro‑LED:外延、封装、点胶、固晶保护;LED 芯片成品充氮包装储存,防止电极氧化失效。
五、电子元器件生产与存储
1、电容、电阻、连接器、磁性元件生产,高温工序惰性保护,防止引脚、金属镀层氧化变色。
2、氮气柜储存:MSD 湿敏元器件、硬盘磁头等,低氧低湿氮气环境,防止氧化腐蚀,避免使用前受潮失效。
3、老化测试仓内氮气置换,元器件老化过程隔绝氧气。
六、电子精密加工
1、陶瓷基板、金属电子零部件激光切割、激光焊接,氮气作为辅助气体,防氧化、除熔渣,获得无氧化亮面切口。
2、器件清洗后氮气吹扫干燥,无残留,替代热风干燥,避免高温损伤精密器件。
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型号 |
产气量 |
原料气 |
产品气氮气 |
|||||
|
Nm³/h |
压力 |
常压露点℃ |
残油量(ppm) |
常压露点℃ |
纯度(%) |
压力 |
温度 |
|
|
(mpa) |
(mpa) |
|||||||
|
HBFD98 |
1-5000 |
0.7-1.0 |
≤-17 |
≤0.003 |
≤-40 |
≥98 |
0.6-0.9 |
环境温度 |
|
HBFD29 |
≥99 |
|||||||
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HBFD295 |
≥99.5 |
|||||||
|
HBFD39 |
≥99.9 |
|||||||
|
HBFD49 |
≥99.99 |
|||||||
|
HBFD59 |
≥99.999 |
|||||||
1、原料空气取自自然,只需提供压缩空气和电源即可制氮气。设备能耗低,运行成本费用少。
2、氮气纯度调整方便,氮气纯度只受氮气排气量的影响,普通制氮纯度在95%-99.999%之间任意调节;高纯度制氮机可在99%-99.999%之间任意调节。
3、设备自动化程度高,产气快,可无人值守。启动、关机只需按一下按钮,开机10-15分钟内即可产生氮气。
4、设备工艺流程简单,设备结构外形紧凑,占地面积小,设备装置适应性强。
5、暴风雪法装填分子筛,避免高压气流冲击导致分子筛粉化现象,确保分子筛长时间使用。
6、数显流量计带压力补偿、高精度的工业过程监控二次仪表,具有瞬时流量及累积计算的功能。
7、进口分析仪在线检测,高精度,免维护。
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